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分子泵 |
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| 产品名称： |
CFB-9000涡轮分子泵 |
| 产品简介： |
涡轮分子泵的叶轮采用变截面叶齿。增强了叶片强度、减轻了转子重量，缩短了启动时间，降低了机械损耗，增加了使用寿命。『实际外型参数等数据以样册为准』 |
| 产品特点： |
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| 订货信息主要性能指标外形尺寸法兰尺寸选配件 |
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型号
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CFB-9000
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订货号
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3190
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进气口法兰
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—
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LF630
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排气口法兰
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—
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LF100
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抽气速率
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L/s
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9000
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压缩比N2/H2
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—
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1×108/5×103
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极限压强
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Pa
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2×10-6
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电机转速
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rpm
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9000
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启动时间
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min
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＜15
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停机时间
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min
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＜25
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振动值
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μm
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≤0.15
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前极泵
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L/s
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>70
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冷却水温度
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℃
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≤25
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泵体烘烤温度
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℃
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<100
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冷却水流量
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L/min
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1
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安装方向
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—
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垂直±5°
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重量
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kg
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～180
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真空泵
